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                銷售熱線0838-2900585
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                RLS系列射頻發生器

                • 采用全數字控制,具有便捷和豐富的操作菜單
                • 進線具有APFC模塊,提高輸入側功率因數,降低諧波
                • 具備CEX相位同步功能
                • 3個可編程模擬量輸出

                RLS系列射頻發生器

                適用領域

                光伏產業、平板顯示器行業、半導體行業、化工業、實驗室、科研、制造業等。

                適用工藝

                等離子體增強化學氣相沉積(PECVD)、等離子體刻蝕、等離子體清洗、射頻離子源、等離子體擴散、等離子體聚合濺射、反應濺射等。

                產品特點:

                l  機架式安裝方式

                l  采用全數字控制,具有便捷和豐富的操作菜單

                l  進線具有APFC模塊,提高輸入側功率因數,降低諧波

                l  穩定可靠的功放和直流控制模塊

                l  駐波1.5時仍能輸出額定功率

                l  具有多種通訊接口可選,通過通訊接口,可完全對電源進行操作

                l  高亮LCD顯示,操作直觀

                l  具備CEX相位同步功能

                l  3個可編程模擬量輸出

                l完善保護功能

                      


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